Abstract
Fourier transform infrared reflectance spectroscopy can be used to establish the height of the transverse optic mode peak of AlAs at 361 cm−1. The peak height is found to be linearly dependent on the aluminum content in Al x Ga1–xAs layers on GaAs substrates. Previously published spectra for In x Ga1–xAs yielded a similar result for the In content, from the transverse optic mode peak of InAs at 220 cm−1. A quick and nondestructive technique is proposed for the determination of the aluminum and indium mole fraction in these structures.
Get full access to this article
View all access options for this article.
References
1.
Shabde
S. N.
, J. Appl. Phys. 41 , 4743 (1970 ).
2.
Sigai
A. G.
Abrahams
M. S.
, and
Blanc
J.
, J. Electrochem. Soc. 119 , 952 (1972 ).
3.
Kobayashi
K.
and
Sugiyama
K.
, Jpn. J. Appl. Phys. 12 , 619 (1973 ).
4.
Stringfellow
G. B.
and
Linnebach
R.
, J. Appl. Phys. 51 , 2212 (1980 ).
5.
Miller
N. C.
Zemon
S.
Werber
G. P.
, and
Powazinik
W.
, J. Appl. Phys. 57 , 512 (1985 ).
6.
Casey
H. C.
Sell
D. D.
, and
Panish
M. B.
, Appl. Phys. Lett. 24 , 63 (1974 ).
7.
Klug
H.-P.
and
Neumann
H.
, Exp. Tech. Phys. 23 , 605 (1975 ).
8.
Monemar
B.
Shih
K. K.
, and
Pettit
G. D.
, J. Appl. Phys. 47 , 2604 (1976 ).
9.
Lee
H. J.
Juravel
L. Y.
Woolley
J. C.
, and
SpringThorpe
A. J.
, Phys. Rev. B 21 , 659 (1980 ).
10.
Bosio
C.
Stachli
J. L.
Guzzi
M.
Burri
G.
, and
Logan
R. A.
, Phys. Rev. B 38 , 3263 (1988 ).
11.
Brosson
P.
and
Ribeiro
C. A.
, Solid-State Electron. 24 , 887 (1981 ).
12.
Drummond
T. J.
Kopp
W.
Keever
M.
Morkoc
H.
, and
Cho
A. Y.
, J. Appl. Phys. 53 , 1023 (1982 ).
13.
Csavinszky
P.
and
Brownstein
K. R.
, Phys. Rev. B 28 , 2226 (1983 ).
14.
Aspnes
D. E.
Kelso
S. M.
Logan
R. A.
, and
Bhat
R.
, J. Appl. Phys. 60 , 754 (1986 ).
15.
Pearah
P. J.
Masselink
W. T.
Klem
J.
Henderson
T.
Morkoc
H.
Litton
C. W.
, and
Reynolds
D. C.
, Phys. Rev. B 32 , 3857 (1985 ).
16.
Linnell
R. A.
, J. Electrochem. Soc. 122 , 832 (1975 ).
17.
Ijuin
H.
and
Gonda
S. I.
, J. Electrochem. Soc. 123 , 1109 (1976 ).
18.
Statham
P.
, J. Microsc. Spectrosc. Electron. 5 , 47 (1980 ).
19.
Kuphal
E.
and
Dinges
H. W.
, J. Appl. Phys. 50 , 4196 (1979 ).
20.
Woollam
J. A.
Snyder
P. G.
Merkel
K. G.
, and
Alterovitz
S. A.
, Mater. Sci. Eng. B Solid-State Mater. Adv. Technol. B 5 , 291 (1990 ).
21.
Kemeny
P. C.
, J. Vac. Sci. & Technol. B 4 , 556 (1986 ).
22.
Gaw
C. A.
, Mater. Lett. 3 , 145 (1985 ).
23.
Zinyao
C.
Yongfu
S.
Fuying
Z.
, and
Ruiwu
P.
, Chin. J. Phys. 5 , 1046 (1985 ).
24.
Huang
Y. S.
Chenand
H. M.
, and
Chang
C. J.
, Chin. J. Phys. 23 , 144 (1985 ).
25.
Yan
D.
Farrell
J. P.
Lesser
P. M. S.
, and
Pollak
F. H.
, Nucl. Instr. & Methods B 24–25 , 662 (1987 ).
26.
Kakibayashi
H.
and
Nagata
F.
, Jpn. J. Appl. Phys. 24 , L905 (1985 ).
27.
Kakibayashi
H.
Nagata
F.
, and
Ono
Y.
, Jpn. J. Appl. Phys. 26 , 770 (1987 ).
28.
de Jong
A. F.
and
van Dyck
D.
, Ultramicroscopy 33 , 269 (1991 ).
29.
Tanner
B. K.
Miles
S. J.
Peterson
G. G.
, and
Sacks
R. N.
, Mater. Lett. 7 , 239 (1988 ).
30.
Goorsky
M. S.
, Appl. Phys. Lett. 59 , 2269 (1991 ).
31.
Wang
D. P.
Lo
I.
Chen
J. L.
, and
Mitchel
W. C.
, J. Appl. Phys. 77 , 172 (1995 ).
32.
Ilegems
M.
and
Pearson
G. L.
, Phys. Rev. B 1 , 1576 (1970 ).
33.
Kim
O. K.
and
Spitzer
W. G.
, J. Appl. Phys. 50 , 4362 (1979 ).
34.
Durschlag
M. S.
and
DeTemple
T. A.
, Solid State Commun. 40 , 307 (1981 ).
35.
Maslin
K. A.
Parker
T. J.
Raj
N.
Tilley
D. R.
Dobson
P. J.
Hilton
D.
, and
Foxon
C. T. B.
, Solid State Commun. 60 , 461 (1986 ).
36.
Gaskill
D. K.
Davies
J.
Sillman
R. S.
, and
Sydor
M.
, Proc. SPIE 794 , 231 (1987 ).
37.
Zavada
J. M.
Hubler
G. K.
Jenkinson
H. A.
, and
Laidig
W. D.
, Materials for Infrared Detectors and Sources Symposium , Boston (1986 ), p. 257 .
38.
Sudharsanan
R.
Perkowitz
S.
, and
Yom
S. S.
, Proc. SPIE 794 , 197 (1987 ).
39.
Riede
V.
Sobotta
H.
Neumann
H.
Gregora
I.
Kamba
S.
, and
Vorlicek
V.
, Crys. Res. Technol. 24 , 909 (1989 ).
40.
Lukeš
I.
Humlicek
J.
Vorlicek
V.
, and
Zavetova
M.
, Phys. Stat. Sol. (a) 111 , 655 (1989 ).
41.
Jahne
E.
Röseler
A.
, and
Ploog
K.
: Proc. SPIE 1575 , 277 (1991 ).
42.
Fukasawa
R.
Wakaki
M.
Shirawachi
K.
Nishizawa
S.
, and
Ohta
K.
, Jpn. J. Appl. Phys. 31 , 2409 (1992 ).
43.
Adachi
S.
, J. Appl. Phys. 58 , R1 (1985 ).
44.
Adachi
S.
, Phys. Rev. B 38 , 12345 (1988 ).
45.
Aspnes
D. E.
, J. Appl. Phys. 60 , 754 (1986 ).
46.
Aspnes
D.
, Proc. SPIE 1285 , 2 (1990 ).
47.
Lorimor
O. G.
Spitzer
W. G.
, and
Waldner
M.
, J. Appl. Phys. 37 , 2509 (1966 ).
48.
Minden
H. T.
, Appl. Phys. Lett. 17 , 358 (1970 ).
49.
Boneville
R.
, Phys. Rev. B 24 , 1987 (1981 ).
50.
Boneville
R.
, Phys. Rev. B 29 , 907 (1984 ).
51.
Beer
A.
, Am. Physik. Chem. 86 , 78 (1852 ).
52.1980 Annual Book of ASTM Standards , Part 42 (American Society for Testing and Materials , Philadelphia, Pennsylvania , 1980 ), E 168 .
53.
Flagmeyer
R.
and
Geist
V.
, Krist. und Tech. 10 , 561 (1975 ).
54.
Kajiyama
K.
, J. Electrochem. Soc. 123 , 423 (1976 ).
55.
Sugino
T.
Inoue
M.
Shirafuji
J.
, and
Inuishi
Y.
, Jpn. J. Appl. Phys. 15 , 991 (1976 ).
56.
Nahory
R. E.
Pollack
M. A.
, and
DeWinter
J. C.
, J. Appl. Phys. 46 , 775 (1975 ).
57.
Takagi
T.
, Jpn. J. Appl. Phys. 17 , 1813 (1978 ).
58.
Thiel
F. A.
Sdhreiber
H.
Rubin
J. J.
Miller
B. I.
, and
Bachman
K. J.
, J. Electron. Mater. 8 , 663 (1979 ).
59.
Goetz
K.-H.
Bimberg
D.
Jürgensen
H.
Selders
J.
Solomonov
A. V.
Glinskii
G. F.
, and
Razeghi
M.
, J. Appl. Phys. 54 , 4543 (1983 ).
60.
Niki
S.
Lin
C. L.
Chang
W. S. C.
, and
Wieder
H. H.
, Appl. Phys. Lett. 55 , 1339 (1989 ).
61.
Paul
S.
Roy
J. B.
, and
Basu
P. K.
, J. Appl. Phys. 69 , 827 (1991 ).
62.
Swaminathan
V.
Yeghasubramanian
S.
, and
Caruso
R.
, J. Electrochem. Soc. 134 , 985 (1987 ).
63.
Krapukhin
V. V.
Kagan
N. B.
Kurbatov
L. N.
, and
Zagar'yants
M. N.
, Sov. Phys.-Tech. Phys. 24 , 720 (1979 ).
64.
Mikkelson
J. C.
and
Boyce
J. B.
, Phys. Rev. B 28 , 7130 (1983 ).
65.
Brodsky
M. H.
and
Lucovsky
G.
, Phys. Rev. Lett. 21 , 990 (1968 ).
66.
Lucovsky
G.
and
Chen
M. F.
, Solid State Comm. 8 , 1397 (1970 ).
67.
Amirtharaj
P. M.
Holah
G. D.
, and
Perkowitz
S.
, Phys. Rev. B 21 , 5656 (1980 ).
68.
Yamazaki
S.
Ushirokawa
A.
, and
Katoda
T.
, J. Appl. Phys. 51 , 3722 (1980 ).
69.
Shiller
C.
, J. Microsc. Spectrosc. Electron. 6 , 85 (1981 ).
70.
Kimura
H.
Afable
C. B.
Olsen
H. M.
Hunter
A. T.
, and
Winston
H. V.
, J. Crystal Growth 70 , 185 (1984 ).
71.
Massies
J.
Turo
F.
Saletes
A.
, and
Contour
J. P.
, J. Crystal Growth 80 , 307 (1987 ).
72.
Kim
H.-S.
and
Min
S.-K.
, J. Crystal Growth 92 , 77 (1988 ).
73.
Estrera
J. P.
Duncan
W. M.
Kao
Y. C.
Liu
H. Y.
Stevens
P. D.
, and
Beam
E. A.
III
, Proc. SPIE 1678 , 120 (1992 ).
74.
Kleinert
P.
, Phys. Stat. Sol. (b) 114 , 459 (1982 ).