Abstract
Get full access to this article
View all access options for this article.
References
1.
Rossnagel
S. M.
: J. Vac. Sci. TechnoL B , 1998 , 16 , (5 ), 2585 –2608 .
2.
Helmersson
U.
,
Lattemann
M.
,
Bohlmark
J.
,
Ehiasarian
A. P.
and
Gudmundsson
J. T.
Thin Solid Films , 2006 , 513 , 1 –24 .
3.
Kouznetsov
V.
,
Macák
K.
,
Schneider
J. M.
,
Helmersson
U.
and
Petrov
I.
Surf. Coat. TechnoL , 1999 , 122 , (2-3 ), 290 –293 .
4.
Sproul
W. D.
,
Christie
D. J.
,
Carter
D. C.
,
Tomasel
F.
and
Linz
T.
Surf. Eng. , 2004 , 20 , (3 ), 174 –176 .
5.
Ganciu
M.
,
Konstantinidis
S.
,
Paint
Y.
,
Dauchot
J. P.
,
Hecq
M.
,
de Poucques
L.
,
Va§ina
P.
,
MeNoa
M.
,
Imbert
J.C.
,
Bretagne
J.
and
Touzeau
M.
J. Optoelectron. Adv. Mater. , 2005 , 7 , (5 ), 2481 –2484 .
6.
Christie
D. J.
: J. Vac. Sci. TechnoL A , 2005 , 23 , (2 ).
7.
Imbert
J. C.
,
de Poucques
L.
,
Boisse-Laporte
C.
,
Bretagne
J.
,
Hugon
M. C.
,
Pagnon
D.
,
Pitach
P.
,
Teulé-Gay
L.
and
Touzeau
M.
Thin Solid Films , doi:10.1016/j.tsf.2007.08.119 .
8.
Angleraud
B.
and
Tessier
P. Y.
Surf. Coat. TechnoL , 2004 , 180-181 , 59 –65 .
9.
Chua
C. L.
,
Fork
D. K.
,
Van Schuylenbergh
K.
and
Lu
J.-P.
J. Microelectromech. Syst. , 2003 , 12 , (6 ), 989 –995 .
10.
Hantschel
T.
,
Chow
E. M.
,
Rudolph
D.
and
Fork
D. K.
AppL Phys. Lett. , 14 Oct . 2002 , 81 , 16 .
11.
Tranchant
J.
,
Angleraud
B.
,
Tessier
P. Y.
,
Besland
M. P.
,
Djouadi
A.
,
Landesman
J. P.
Surf. Coat. TechnoL , 2006 , 200 , 6549 –6553 .
12.
Robertson
J.
: Mater. Sci. Eng. , 2002 , R37 , 129 –281 .
13.
Angleraud
B.
,
Mubumbila
N.
and
Tessier
P. Y.
Diamond Relat. Mater. , 2003 , 12 , (3 ), 1093 –1097 .
14.
Tranchant
J.
,
Angleraud
B.
,
Han
X. L.
,
Landesman
J. P.
and
Tessier
P. Y.
AppL Phys. Lett. , 2007 , 91 , 013103 .