Abstract
The design, development, and manufacture of field emission displays present the materials scientist with a myriad of issues and constraints. These range from the suitability of the cold cathode layer, the compatibility and adhesion of the various layers that form the device, and the overall approach to sealing and operating the display in a product oriented package. This paper considers the various components of a field emission display, details the material properties that are important in each case, reviews how existing devices have solved the issues, and looks at how future devices may achieve reality.
Get full access to this article
View all access options for this article.
References
1.
CASTELLANO
J. A.
: ‘Handbook of display technology’, 1st edn; 1992, San Diego, CA, Academic Press.
2.
OUELLETTE
J.
: Indust. Physicist , Dec. 1997 , 10 –13 .
3.
BURDEN
P.
: Mater . World , 2000 , 8 , (7 ), 22 –25 .
4.
DEPP
s. W.
HOWARD
W. E.
: Sci. Am . , March 1993 , 40 –45 .
5.
WERNER
K.
: IEEE Spectrum , May 1997 , 40 –49 .
6.
KELLY
S. M.
: ‘Flat panel displays: advanced organic materials’, RSC Materials Monographs; 2000, London, Royal Society of Chemistry.
7.
PERRIN
J.
: Vacuum Solutions, May/June 1999, 25 -28.
8.
RACK
P. D.
NAMAN
A.
HOLLOWAY
P. H.
SUN
S.-S.
TUENGE
R. T.
: MRS Bull. , March 1996 , 49 –58 .
9.
BELL
J.
: Opto Laser Eur. , March 1999 , 21 –24 .
10.
PRACHE
O.
: Displays , 2001 , 22 , 49 –56 .
11.
WEBER
L. F.
BIRK
J. D.
: MRS Bull. , March 1996 , 65 –68 .
12.
SHAH
I.
Phys. World, June 1997 , 45 -48.
13.
CHALAMALA
B. R.
WEI
Y.
GNADE
B. E.
: IEEE Spectrum April 1998 , 42 –51 .
14.
HILL
P.
: Opto Laser Eur. , May 2000 , 28 –30 .
15.
WOOD
R. W.
: Phys. Rev . , 1897 , 5 , 1 –10 .
16.
MURPHEY
E. L.
GOOD
R. H.
: Phys. Rev . , 1956 , 102 , 1464 –1473 .
17.
FOWLER
R. H.
NORDHEIM
L.
: Proc. R. Soc. Ser. A , 1928 , 119 , 173 –181 .
18.
LATHAM
R. V.
(ed.): ‘High voltage vacuum insulation’, 1st edn; 1995 , London, Academic Press.
19.
WATERS
R.
van ZEGHBROECK
B.
: Appl. Phys. Lett . , 1999 , 75 , 2410 –2412 .
20.
FORBES
R.
: Solid State Electron. , 2001 , 45 , 779 –808 .
21.
WANG
C.
GARCIA
A.
INGRAM
D. C.
LAKE
M.
KORDESCH
M. E.
: Electron. Lett . , 1991 , 27 , 1459 –1461 .
22.
SPINDT
C. A.
: J. Appl. Phys . , 1968 , 39 , 3504 –3505 .
23.
CROST
M. E.
SHOULDERS
K.
ZINN
M. H.
: US Patent 3,500,102 (filed 1967).
24.
SPINDT
C. A.
SHOULDERS
K. R.
HEYNICK
L. N.
: US Patent 3,755,704 (filed 1970).
25.
SPINDT
C. A.
HOLLAND
C. E.
: US Patent 4,857,799 (filed 1986).
26.
BRODIE
I.
SPINDT
C. A.
: Adv. Elec. Elec. Phys . , 1992 , 83 , 1 –105 .
27.
BRODIE
I.
SCHWOEBEL
P. R.
: Proc. IEEE , 1994 , 82 , 1006 –1034 .
28.
SCHWOEBEL
P. R.
BRODIE
I.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1995 , 13 , 1391 –1410 .
29.
TEMPLE
D.
: Mater. Sci. Eng. , 1999, R24, 185-239.
30.
THOMAS
R. N.
NATHANSON
H. C.
: Appl. Phys. Lett . , 1972 , 21 , 384 –386 .
31.
TEMPLE
D.
PALMER
W. D.
YADON
L. N.
MANCUSI
J. E.
VELLENGA
D.
McGUIRE
G. E.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1998 , 16 , 1980 –1990 .
32.
DJUBUA
B. C.
CHUBUN
N. N.
: IEEE Trans. Elec. Dev . , 1991 , 38 , 2314 –2316 .
33.
MACKIE
W. A.
HARTMAN
R. L.
ANDERSON
M. A.
DAVIS
P. R.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1994 , 12 , 722 –726 .
34.
ENDO
M.
NAKANE
H.
ADACHI
H.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1996 , 14 , 2114 –2118 .
35.
GOODHUE
W. D.
NITISHIN
P. M.
HARRIS
C. T.
BOZLER
C. O.
RATIIMAN
D. D.
JOHNSON
G. D.
HOLLIS
M. A.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1994 , 12 , 693 –696 .
36.
BIRADAR
P. I.
CHATTERTON
P. A.
: J. Phys. D , 1970 , 3 , 1653 –1662 .
37.
COX
B. M.
: J. Phys. D, Appl. Phys . , 1975 , 8 , 2065 –2073 .
38.
CHARBONNIER
F. M.
MACKIE
W. A.
XIE
T.
DAVIS
P. R.
: Ultramicroscopy , 1999 , 79 , 73 –82 .
39.
MACKIE
W. A.
XIE
T.
DAVIS
P. R.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1995 , 13 , 2459 –2463 .
40.
ZHIRNOV
V. V.
KUTTEL
O. M.
GRONING
O.
ALIMOVA
A. N.
DETKOV
P. Y.
BELOBROV
P. I.
MAILLARD-SCHALLER
E.
SCHLAPBACH
L.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 666 –669 .
41.
BINTZ
W. J.
McGRUER
N. E.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1994 , 12 , 697 –699 .
42.
MYERS
A. F.
CAMPHAUSEN
S. M.
CUOMO
J. J.
FIREN
J. J.
LIU
J.
BRULEY
J.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1996 , 14 , 2024 –2029 .
43.
SUGINO
T.
KAWASAKI
S.
TANIOKA
K.
SHIRAFUJE
J.
Appl. Phys. Lett . , 1997 , 71 , 2704 –2706 .
44.
BOSWELL
E. C.
HUANG
M.
SMITH
G. D. W.
WILSHAW
P. R.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1996 , 14 , 1895 –1898 .
45.
MOUSA
M. S.
HOLLAND
C. E.
BRODIE
I.
SPINDT
C. A.
: Appl. Surf. Sci . , 1993 , 67 , 218 –221 .
46.
JESSING
J. R.
PARKER
D. L.
WEICHOLD
M. H.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1996 , 14 , 1899 –1901 .
47.
ALIMOVA
A. N.
CHUBUN
N. N.
BELOBROV
P. I.
Ya DETKOV
P.
ZHIRNOV
V. V.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 715 –718 .
48.
CHRISTENSEN
A. O.
: US Patent 4, 663, 559, (filed 1985).
49.
LATHAM
R. V.
: Phys. Technol . , 1978 , 9 , 20 –25 .
50.
HEYLEN
A. E. D.
GUILE
A. E.
MORGAN
D. V.
: IEE Proc. , 1984 , 131 , 111 –117 .
51.
BAYLISS
K. H.
LATHAM
R. V.
: Proc. R. Soc. (London) A , 1986 , 403 , 285 –311 .
52.
XU
N. S.
LATHAM
R. V.
: J. Phys. D, Appl. Phys . , 1986 , 19 , 477 –482 .
53.
ATHWAL
C. S.
LATHAM
R. V.
: Physica , 1981 , 104c , 46 –49 .
54.
NOER
R. J.
Ph.
NIEDERMANN,
N.
SANKARRAMAN
O. FISCHER
J. Appl. Phys . , 1986 , 59 , 3851 –3860 .
55.
JIMENEZ
M.
NOER
R. J.
JOUVE
G.
ANTOINE
C.
JODET
J.
BONIN
B.
: J. Phys. D, Appl. Phys . , 1993 , 26 , 1503 –1509 .
56.
OBRAZTSOV
A. N.
VOLKOV
A. P.
PAVLOVSKII
I. Y.
: JETP Lett. , 1998 , 68 , 59 –63 .
57.
BAJIC
S.
LATHAM
R. V.
: J. Phys. D, Appl. Phys . , 1988 , 21 , 200 –204 .
58.
BAJIC
s.
LATHAM
R. V.
: Inst. Phys. Conf. Ser . , 1989 , 99 , 101 –104 .
59.
TUCK
R. A.
TAYLOR
W.
LATHAM
R. V.
: Proc. 4th Int. Displays Workshop, 1997, FED2-1, 723-726.
60.
BURDEN
A. P.
BISHOP
H. E.
BRIERLEY
M.
FRIDAY
J. M.
HOOD
C.
JONES
P. G. A.
KHAZOV
A. Y.
LEE
W.
RIGGS
R. J.
SHAW
V. L.
TUCK
R. A.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 2000 , 18 , 900 –904 .
61.
BURDEN
A. P.
BISHOP
H. E.
BRIERLEY
M.
FRIDAY
J. M.
HOOD
C.
JONES
P. G. A.
KHAZOV
A. Y.
LEE
W.
RIGGS
R. J.
SHAW
V. L.
TAYLOR
W.
TUCK
R. A.
: Solid State Electron. , 2001 , 45 , 987 –996 .
62.
GILMOUR
A. S.
: ‘Microwave tubes’, 1st edn; 1986, Norwood, Artech House.
63.
ELINSON
M. I.
ZERNOV
D. V.
: Radio Eng. Elec. Phys . , 1957 , 2 , 112 –126 .
64.
ROBERTSON
J.
: Thin Solid Films , 1997 , 296 , 61 –65 .
65.
BURDEN
A. P.
MENDOZA
E.
SILVA
S. R. P.
AMARATUNGA
G. A. J.
: Diam. Relat. Mater . , 1998 , 7 , 495 –498 .
66.
ELINSON
M. I.
ZEMAN
A. G.
KUDINTSEVA
G. A.
CHUGUNOVA
M. E.
: Radio Eng. Elec. Phys . , 1964 , 10 , 1290 –1296 .
67.
CADE
N. A.
CROSS
G. H.
LEE
R. A.
BAJIC
S.
LATHAM
R. V.
: J. Phys. D, Appl. Phys . , 1988 , 21 , 148 –153 .
68.
SOWERS
A. T.
CHRISTMAN
J. A.
BREMSER
M. D.
WARD
B. L.
DAVIS
R. F.
NEMANICH
R. J.
: Appl. Phys. Lett . , 1997 , 71 , 2289 –2291 .
69.
SILVA
S. R. P.
FORREST
R. D.
SHANNON
J. M.
SEALY
B. J.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 596 –600 .
70.
SILVA
S. R. P.
CAREY
J. D.
FORREST
R. D.
: J. SID , 2000 , 8 , 17 –21 .
71.
ROBERTSON
J.
: Pure Appl. Chem . , 1994 , 66 , 1789 –1796 .
72.
SILVA
S. R. P.
FORREST
R. D.
MUNINDRADASA
D. A.
AMARATUNGA
G. A. J.
: Diam. Relat. Mater . , 1998 , 7 , 645 –650 .
73.
AMARATUNGA
G. A. J.
SILVA
S. R. P.
: Appl. Phys. Lett . , 1996 , 68 , 2529 –2531 .
74.
SATYANARAYANA
B. S.
HART
A.
MILNE
W. I.
ROBERTSON
J.
: Appl. Phys. Lett . , 1997 , 71 , 1430 –1432 .
75.
THIELE
J.-U.
KANIA
P.
OELHAFEN
P.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1997 , 15 , 1739 –1744 .
76.
LI
Y. L.
LAU
S. P.
TAY
B. K.
SUN
Z.
CHEN
G. Y.
CHEN
J. S.
DING
X. Z.
SHE
X.
Appl. Phys. Lett . , 2000 , 77 , 2021 –2023 .
77.
AMARATUNGA
G. A. J.
BAXENDALE
M.
RUPESINGHE
N.
ALEXANDROU
I.
CHHOWALLA
M.
BUTLER
T.
MUNINDRADASA
A.
KILEY
C. J.
ZHANG
L.
SAKAI
T.
: New Diam. Front. Carbon Technol . , 1999 , 9 , 31 –51 .
78.
ALEXANDROU
I.
BAXENDALE
M.
RUPESINGHE
N. L.
AMARATUNGA
G. A. J.
KIELY
C. J.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 2000 , 18 , 2698 –2703 .
79.
an
X.
CHEAH
L. K.
TAY
B. K.
SILVA
S. R. P.
: Appl. Phys. Lett . , 1999 , 74 , 833 –835 .
80.
HART
A.
SATYANARAYANA
B. S.
MILNE
W. I.
ROBERTSON
J.
: Appl. Phys. Lett . , 1999 , 74 , 1594 –1596 .
81.
LIN
C. M.
CHANG
S.-J.
YOKOYAMA
M.
CHUANG
F.-Y.
TSAI
C.-H.
WANG
W.-C.
LIN
I. N.
: Jpn J. Appl. Phys . , 1999 ,38 , 890 –893 .
82.
MAO
D. S.
ZHAO
J.
LI
W.
REN
C. X.
WANG
X.
LIU
X. H.
ZHOU
J. Y.
FAN
Z.
ZHU
Y. K.
LI
Q.
XU
J. F.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 311 –314 .
83.
TALIN
A. A.
COLL
B. F.
MENU
E. P.
MARKHAM
J.
JASKIE
J. E.
: in ‘Amorphous carbon: state of the art’, (ed.
Silva
S. R. P.
et al), 329 -337 ; 1998 , Singapore, World Scientific.
84.
SRMRRIA
M. N.
BAYLET
J.
MONTMAYEUL
B.
GERMAIN
C.
ANGLERAUD
B.
CATHERINOT
A.
: Diam. Relat. Mater . , 1999 , 8 , 801 –804 .
85.
SUGINO
T.
TAGAWA
S.
: Appl. Phys. Lett . , 1999 , 74 , 889 –891 .
86.
PRYOR
R. W.
: Appl. Phys. Lett . , 1996 , 68 , 1802 –1804 .
87.
YU
J.
WANG
E. G.
: Appl. Phys. Lett . , 1999 , 74 , 2948 –2950 .
88.
TOLT
Z. L.
FINK
R. L.
YANIV
Z.
: MRS Symp. Proc . , 1998 , 509 , 47 –52 .
89.
FINK
R. L.
TOLT
Z. L.
THEUSEN
L. H.
YANIV
Z.
KASANO
K.
TATSUDA
K.
: Proc. Int. Displays Workshop, 1999, FED1-5, 911-912.
90.
WERNER
M.
LOCHER
R.
: Rep. Prog. Phys . , 1998 , 61 , 1665 –1710 .
91.
GETS
M. W.
TWICHELL
J. C.
EFREMOW
N. N.
KROHN
K.
LYSZCZARZ
T. M.
: Appl. Phys. Lett . , 1996 , 68 , 2294 –2296 .
92.
OKANO
K.
KOIZUMI
S.
SILVA
S. R. P.
AMARATUNGA
G. A. J.
: Nature , 1996 , 381 , 140 –141 .
93.
JASKIE
J. E.
: MRS Bull. , June 1996 , 59 –64 .
94.
ZHIRNOV
V. V.
HREN
J. J.
: MRS Bull. , Sept. 1998, 42 -47.
95.
GEIS
M. W.
TWICHELL
J. C.
LYSZCZARZ
T. M.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1996 , 14 , 2060 –2067 .
96.
MAY
P. W.
HOHN
S.
WANG
W. N.
FOX
N. A.
: Appl. Phys. Lett . , 1998 , 72 , 2182 –2184 .
97.
XU
N. S.
TZENG
Y.
LATHAM
R. V.
: J. Phys. D, Appl. Phys . , 1993 , 26 , 1776 –1780 .
98.
GEIS
M. W.
TWICHELL
J. C.
MACAULEY
J.
OKANO
K.
: Appl. Phys. Lett . , 1995 , 67 , 1328 –1330 .
99.
KUPRYASHKIN
A. S.
SELIVERSTOV
V. A.
SHAKHOVSKOY
A. G.
SHESHIN
E. R
: Proc. 4th Int. Vac. Micro. Conf. , 1991, 124.
100.
TCHEREPANOV
A. Y.
CHAKHOVSKOI
A. G.
SHAROV
V. B.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1995 , 13 , 482 –486 .
101.
ASANO
T.
SHIBATA
E.
SASAGURI
D.
MAKIHIRA
K.
HIGA
K.
: Jpn J. Appl. Phys . , 1997 , 36 , L818—L820 .
102.
BABA
A.
HIGA
K.
ASANO
T.
: Proc. Int. Displays Workshop, 1998, FED4-5, 703-706.
103.
MUSA
I.
MUNINDRASDASA
D. A. I.
AMARATUNGA
G. A. J.
ECCLESTON
W.
: Nature , 1998 , 395 , 362 –365 .
104.
SUN
Z.
HUANG
S. M.
LU
Y. F.
CHEN
J. S.
LI
Y. J.
TAY
B. K.
LAU
S. P.
CHEN
G. Y.
SUN
Y.
: Appl. Phys. Lett . , 2001 , 78 , 2009 –2011 .
105.
ENDO
M.
: Chemtech, Sept. 1988, 568 -576.
106.
BAKER
F. S.
OSBORN
A. R.
WILLIAMS
J.
: Nature , 1972 , 239 , 96 –97 .
107.
LEA
C.
: J. Phys. D, Appl. Phys . , 1973 , 6 , 1105 –1114 .
108.
BRAUN
E.
SMITH
J. F.
SYKES
D. E.
: Vacuum, 1975 , 25 , 425 -426 .
109.
BAKER
F. S.
OSBORN
A. R.
WILLIAMS
J.
: J. Phys. D, Appl. Phys . , 1974 , 7 , 2105 –2115 .
110.
LATHAM
R. V.
WILSON
D. A.
: J. Phys. D, Appl. Phys . , 1981 , 14 , 2139 –2145 .
111.
LATHAM
R. V.
WILSON
D. A.
: J. Phys. D, Appl. Phys . , 1983 , 16 , 455 –463 .
112.
BONDARENKO
B. V.
SELIVERSTOV
V. A.
SHAKHOVSKOY
A. G.
SHESHIN
E. R
: Soy. J. Comm. Technol. Electron . , 1987 , 32 , 91 –94 .
113.
KSENOFONTOV
V. A.
KUPRYASHKIN
A. S.
SHAKHOVSKOI
A. G.
SHESHIN
E. P.
: Soy. Phys. Tech. Phys . , 1991 , 36 , 687 –689 .
114.
CHAKHOVSKOI
A. G.
SHESHIN
E. P.
KUPRYASHKIN
A. S.
SELIVERSTOV
V. A.
: J. Vac. Sci. Technol. B . , 1993 , 11 , 511 –513 .
115.
SHESHIN
E. R
: Ultramicroscopy , 1999 , 79 , 101 –108 .
116.
RODRIGUEZ
N. M.
: J. Mater. Res . , 1993 , 8 , 3233 –3250 .
117.
WALTER
K. C.
KUNG
H. H.
MAGGIORE
C. J.
: Appl. Phys. Lett . , 1997 , 71 , 1320 –1322 .
118.
IIJIMA
S.
: Nature , 1991 , 354 , 56 –58 .
119.
EBBESEN
T. W.
AJAYAN
P. M.
: Nature , 1992 , 358 , 220 –222 .
120.
RINZLER
A. G.
HAFNER
J. H.
NIKOLAEV
P.
LOU
L.
KIM
S. G.
TOMANEK
D.
NORDLANDER
P.
COLBERT
D. T.
SMALLEY
R. E.
: Science , 1995 , 269 , 1550 –1553 .
121.
BEER
W. A. DE
CHATELAIN
A.
UGARTE
D.
: Science , 1995 , 270 , 1179 –1180 .
122.
SAITO
Y.
HAMAGUCHI
K.
UEMURA
S.
UCHIDA
K.
TASAKA
Y.
IKAZAKI
F.
YUMURA
M.
KASUYA
A.
NISHINA
Y.
: Appl. Phys. A , 1998 , 67 , 95 –100 .
123.
GRONING
O.
KUTTEL
O. M.
EMMENEGGER
C.
GRONING
P.
SCHLAPBACH
L.
: J. Vac. Sci. Technol. B . , 2000 , 18 , 665 –678 .
124.
CHEN
Y.
PATEL
S.
YE
Y.
SHAW
D. T.
GUO
L.
: Appl. Phys. Lett . , 1998 , 73 , 2119 –2121 .
125.
KUTTEL
O. M.
GRONING
O.
EMMENEGGER
C.
SCHLAPBACH
L.
: Appl. Phys. Lett . , 1998 , 73 , 2113 –2115 .
126.
RAO
A. M.
JACQUES
D.
HADDON
R. C.
ZHU
W.
BOWER
C.
JIN
S.
: Appl. Phys. Lett . , 2000 , 76 , 3813 –3815 .
127.
FAN
S.
CHAPLINE
M. G.
FRANKLIN
N. R.
TOMBLER
T. W.
CASSELL
A. M.
DAI
H.
: Science , 1999 , 283 , 512 –514 .
128.
LI
J.
PAPADOPOULOS
C.
XU
J. M.
MOSKOVITS
M.
: Appl. Phys. Lett . , 1999 , 75 , 367 –369 .
129.
REN
Z. F.
HUANG
Z. P.
WANG
D. Z.
WEN
J. G.
XU
J. W.
WANG
J. H.
CALVERT
L. E.
CHEN
J.
KLEMIC
J. F.
REED
M. A.
: Appl. Phys. Lett . , 1999 , 75 , 1086 –1088 .
130.
HAN
J.
YANG
W.-S.
YOO
J.-B.
PARK
C.-Y.
: J. Appl. Phys . , 2000 , 88 , 7363 –7365 .
131.
MURAKAMI
H.
HIRAKAWA
M.
TANAKA
C.
YAMAKAWA
H.
: Appl. Phys. Lett . , 2000 , 76 , 1776 –1778 .
132.
JEONG
S.-H.
HWANG
H.-Y.
LEE
K.-H.
JEONG
Y.
: Appl. Phys. Lett . , 2001 , 78 , 2052 –2054 .
133.
YUAN
Z. H.
HUANG
H.
DANG
H. Y.
CAO
J. E.
HU
B. H.
FAN
S. S.
: Appl. Phys. Lett . , 2001 , 78 , 3127 –3129 .
134.
CHOI
W. B.
CHUNG
D. S.
KANG
J. H.
KIM
H. Y.
JIN
Y. W.
HAN
I. T.
LEE
Y. H.
JUNG
J. E.
LEE
N. S.
PARK
G. S.
KIM
J. M.
: Appl. Phys. Lett . , 1999 , 75 , 3129 –3131 .
135.
CHUNG
D. S.
CHOI
W. B.
KANG
J. H.
KIM
H. Y.
HAN
I. T.
PARK
Y. S.
LEE
Y. H.
LEE
N. S.
JUNG
J. E.
KIM
J. M.
: J. Vac. Sci. Technol. B . , 2000 , 18 , 1054 –1058 .
136.
WANG
Q. H.
SETLUR
A. A.
LAUERHAAS
J. M.
DAI
J. Y.
SEELIG
E. W.
CHANG
R. P. H.
: Appl. Phys. Lett . , 1998 , 72 , 2912 –2913 .
137.
WANG
Q. H.
YAN
M.
CHANG
R. P. H.
: Appl. Phys. Lett . , 2001 , 78 , 1294 –1296 .
138.
NAKAYAMA
Y.
AKITA
S.
: Synth. Met . , 2001 , 117 , 207 –210 .
139.
CHEN
Y.
SHAW
D. T.
GUO
L.
: Appl. Phys. Lett . , 2000 , 76 , 2469 –2471 .
140.
COLLINS
P. G.
BRADLEY
K.
ISHIGAMI
M.
ZETTL
A.
Science , 2000 , 287 , 1801 –1804 .
141.
DEAN
K. A.
CHALAMALA
B. R.
: J. Appl. Phys . , 1999 , 85 , 3832 –3836 .
142.
DEAN
K. A.
ALLMEN
P. VON
CHALAMALA
B. R.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 1959 –1969 .
143.
DEAN
K. A.
CHALAMALA
B. R.
: Appl. Phys. Lett . , 2000 , 76 , 375 –377 .
144.
CHERNOZATONSKII
L. A.
GULYAEV
Y. V.
KOSAKOVSKAJA
Z. J.
SINITSYN
N. I.
TORGASHOV
G. V.
ZAKHARCHENKO
Y. F.
FEDOROV
E. A.
VACCHUK
V. P.
: Chem. Phys. Lett . , 1995 , 233 , 63 –68 .
145.
COLL
B. F.
JASKIE
J. E.
MARKHAM
J. L.
MENU
E. P.
TALIN
A. A.
ALLMEN
P. VON
: MRS Symp. Proc . , 1998 , 498 , 185 –196 .
146.
AU
F. C. K.
WONG
K. W.
TANG
Y. H.
ZHANG
Y. F.
BELLO
I.
LEE
S. T.
: Appl. Phys. Lett . , 1999 , 75 , 1700 –1702 .
147.
CAREY
J. D.
SILVA
S. R. P.
: Appl. Phys. Lett . , 2001 , 78 , 347 –349 .
148.
PAM
L. S.
FELTER
T. E.
TALIN
A.
OHLBERG
D.
FOX
C.
HAN
S.
: US Patent 5,857,882 (filed 1996).
149.
CROST
M. E.
SHOULDERS
K.
ZINN
M. H.
: US Patent 3,400,102 (filed 1967).
150.
OHSAKI
H.
KOKUBU
Y.
: Thin Solid Films , 1999 , 351 , 1 –7 .
151.
CASTELLANO
J. A.
: ‘Handbook of display technology’, 1st edn, 294; 1992, San Diego, CA, Academic Press.
152.
Korn
W. H.
,: ‘Handbook of materials and techniques for vacuum devices’ , 1995 , Woodbury, NY, AIP Press .
153.
PULKER
H. K.
: ‘Coatings on glass’, 2nd edn, 174-317; 1999, Amsterdam, Elsevier.
154.
ONOZUMI
s.
NAITO
K.
: Proc. Int. Displays Workshop , 1998 , 495 –498 .
155.
LEE
C.-C.
CHANG
Y.-Y.
SHEU
J.-R.
HO
J.-C.
LIAO
J.-H.
CHENG
H.-C.
HSIAO
M.-C.
HAN
C.-X.
HUANG
S.-M
WANG
W.-C.
: SID 01 Digest, 2001, 20.4, 316 -319.
156.
PY
C.
BAPTIST
R.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1994 , 12 , 685 –688 .
157.
TAYLOR
R. H.
LEVINE
J. D.
: US Patent 5,552,751 (filed 1995).
158.
NOWICKI
R. S.
BUSTA
H. H.
POGEMILLER
J. E.
FOROUHI
A. R.
BLOOMER
I.
CLIFT
W. M.
YIO
J. L.
FELTER
T.
: SID 96 Digest, 1996, P-16, 456 -458.
159.
JANKOWSKI
A. F.
HAYES
J. P.
MUSKET
R.
COSANDEY
F.
GORLA
C. E.
BESSER
R. S.
WESTERLIND
V.
COBAI
G.
: Chem. Phys. Nanostruct. Rel. Non-equilib. Mater . , 1997 , 211 –219 .
160.
JANKOWSKI
A. F.
SCHMID
A. P.
: US Patent 6,154,119 (filed 1998).
161.
MEYER
R.
: US Patent 5,194,780 (filed 1990).
162.
HUANG
J. C.
: US Patent 5,578,896 (filed 1995).
163.
CUI
J. B.
ROBERTSON
J.
MILNE
W. I.
: J. Appl. Phys . , 2001 , 89 , 3490 –3493 .
164.
HIRANO
T.
KANEMARU
S.
TANOUE
H.
ITOH
J.
: Jpn J. Appl. Phys . , 1995 , 34 , 6907 –6911 .
165.
BERNHARDT
A. F.
CONTOLINI
R. J.
JANKOWSKI
A. F.
LIBERMAN
V.
MORSE
J. D.
MUSKET
R. G.
BARTON
R.
MACAULAY
J.
SPINDT
C.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 2000 , 18 , 1212 –1215 .
166.
GEIS
M. W.
TWICHELL
J. C.
EFREMOW
N. N.
KROHN
K. E.
STERN
M. B.
LYSZCZARZ
T. M.
: IEEE Elec. Dev. Lett . , 1997 , 18 , 595 –598 .
167.
CHOI
W. B.
JIN
Y. W.
KIM
H. Y.
LEE
S. J.
YUN
M. J.
KANG
J. H.
CHOI
Y. S.
PARK
N. S.
LEE
N. S.
KIM
J. M.
: Appl. Phys. Lett . , 2001 , 78 , 1547 –1549 .
168.
FURNEAUX
R. C.
RIGBY
W. R.
DAVIDSON
A. P.
: Nature , 1989 , 337 , 147 –149 .
169.
GOVYADINOV
A. N.
ZAKHVITCEVICH
S. A.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1998 , 16 , 1222 –1225 .
170.
HOLLAND
E. R.
HARRISON
M. T.
HUANG
M.
WILSHAW
P. R.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 580 –582 .
171.
KIM
J. M.
LEE
N. S.
CHUNG
D. S.
PARK
S. H.
JIN
Y. W.
KANG
J. H.
CHOI
Y. S.
KIM
H. Y.
YUN
M. J.
PARK
N. S.
HAN
I. T.
KIM
J. W.
JUNG
J. E.
YOU
J. H.
LEE
C. G.
JO
S. H.
CHOI
K. S.
CHI
E. J.
LEE
S. J.
PARK
H. G.
: SID 01 Digest, 2001, 20.1, 304 -307.
172.
CHANG
D. C.
LEARN
A. J.
MACKEY
B. L.
DRUMM
P. M.
MORRIS
D. L.
: US Patent 6,176,754 (filed 1998).
173.
JOHNSON
B. R.
AIKINWANDE
A. I.
MURPHEY
D.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1997 , 15 , 535 –538 .
174.
KUO
H. P.
BURRIESCI
S. F.
LIN
J.
MILLER
D. J.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1997 , 15 , 2782 –2785 .
175.
KASTALSKY
A.
SHOKHOR
S.
HOU
J.
NAAR
S.
ABANSHIN
N.
GORFINKEL
B.
: SID 01 Digest, 2001, 14.4L, 201 -203.
176.
ECKERTOVA
L.
: Int. J. Electron . , 1990 , 69 , 65 –78 .
177.
SAGAWA
M.
KUSUNOKI
T.
SUZUKI
M.
TSUJI
K.
: SID 01 Digest, 2001, 14.2, 193 -195.
178.
KOMODA
T.
SHENG
X.
KOSHIDA
N.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 1076 –1079 .
179.
KOMODA
T.
HONDA
Y.
HATAI
T.
WATABE
Y.
ICHIHARA
T.
AIZAWA
K.
KOSHIDA
N.
: SID 01 Digest, 2001, 14.1, 188 -191.
180.
GEIS
M. W.
EFREMOW
N. N.
KHRON
K. E.
TWICHELL
J. C.
LYSZCZARZ
T. M.
KALISH
R.
GREER
J. A.
TABAT
M. D.
: Nature , 1998 , 393 , 431 –435 .
181.
SAKAI
K.
NOMURA
I.
YAMAGUCHI
E.
YAMANOBE
M.
IKEDA
S.
HARA
T.
HATANAKA
K.
OSADA
Y.
YAMAMOTO
H.
NAKAGIRI
T.
: Proc. Euro Display , 18.3L , 569 –572 .
182.
JIANG
B.
KIRKMAN
G.
REINHARDT
N.
: Appl. Phys. Lett . , 1995 , 66 , 1196 –1198 .
183.
RIEGE
H.
BOSCOLO
I.
HANDEREK
J.
HERLEB
U.
: J. Appl. Phys . , 1998 , 84 , 1602 –1617 .
184.
AUCIELLO
O.
RAY
M. A
PALMER
D.
DUARTE
J.
McGUIRE
G. E.
TEMPLE
D.
: Appl. Phys. Lett . , 1995 , 66 , 2183 –2185 .
185.
ROSENMAN
G.
SHUR
D.
KRASIK
Y. E.
DUNAEVSKY
A.
: J. Appl. Phys . , 2000 , 88 , 6109 –6161 .
186.
HOLLOWAY
P. H.
TROTTIER
T. A.
ABRAMS
B.
KONDOLEON
C.
JONES
S. L.
SEBASTIAN
J. S.
THOMES
W. J.
SWART
H.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 758 –764 .
187.
KIM
J. M.
LEE
H. W.
CHOI
Y. S.
JUNG
J. E.
LEE
N. S.
JIN
Y. W.
PARK
N. S.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 744 –749 .
188.
SWART
H. C.
OOSTHUIZEN
L.
HOLLOWAY
P. H.
BERNING
G. L. P.
: Surf. Interface Anal . , 1998 , 26 , 337 –342 .
189.
HOLLOWAY
P. H.
TROTTIER
T. A.
SEBASTIAN
J.
JONES
S.
ZHANG
X.-M.
BANG
J.-S.
ABRAMS
B.
THOMES
W. J.
KIM
T.-J.
: J. Appl. Phys . , 2000 , 88 , 483 –488 .
190.
VECHT
A.
GIBBONS
C.
DAVIES
D.
JING
X.
MARSH
P.
IRELAND
T.
SILVER
J.
NEWPORT
A.
BARBER
D.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 750 –757 .
191.
GOLDBURT
E. T.
BOLCHOUCHINE
V. A.
LEVONOVITCH
B. N.
SOCHTINE
N. P.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 765 –768 .
192.
CUMMINGS
B.
PEARSON
R.
KAJIWARA
K.
KATO
Y.
HATANO
Y.
ITO
Y.
: SID 01 Digest, 2001, 25.3, 422 -423.
193.
CHAKHOVSKOI
A. G
KESLING
W. D.
TRUJILLO
J. T.
HUNT
C. E.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1994 , 12 , 785 –789 .
194.
HUNT
C. E.
CHAKHOVSKOI
A. G.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1997 , 15 , 516 –519 .
195.
HILL
P.
: Opto. Laser Eur . , Feb. 2001 , 25 .
196.
JIN
Y. W.
JANG
J. E.
YI
W. K.
JUNG
J. E.
LEE
N. S.
KIM
J. M.
LEON
D. Y.
HONG
J. P.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 489 –493 .
197.
ITOH
s.
NIIYAMA
T.
YOKOYAMA
M.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1993 , 11 , 647 –650 .
198.
ITOH
S.
TOKI
H.
SATO
Y.
MORIMOTO
K.
KISHINO
T.
: J. Electrochem. Soc . , 1991 , 138 , 1509 –1512 .
199.
FRAN
Y.-S.
TSENG
T.-Y.
: Mater. Chem. Phys . , 1999 , 61 , 166 –168 .
200.
KULKAMI
s.
MILLER
P.
WAGNER
M.
: J. Vac. Sci. Technol. A , 1987 , 5 , 1849 –1855 .
201.
CURTIN
C. J.
NOWICKI
R. S.
FAHLEN
T. S.
DUBOC
R. M.
LOVOI
P. A.
: US Patent 5,725,787 (filed 1995).
202.
GIVARGIZOV
E. I.
ZHIRNOV
V. V.
CHUBUN
N. N.
STEPANOVA
A. N.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1997 , 15 , 450 –453 .
203.
TANAKA
M.
NOHARA
Y.
TAMURA
K.
KATAOKA
F.
KATAYAMA
M.
SAKURADA
H.
: SID 99 Digest, 1999, 37.1, 818 -821.
204.
PAN
L. S.
STANNERS
C. D.
FAHLEN
T. S.
: US Patent 6,149,483 (filed 1998).
205.
SPINDT
C. J.
MORRIS
D. L.
FAHLEN
T. S.
SCHMID
A. P.
LOVOI
P. A.
: US Patent 5,746,635 (filed 1995).
206.
SPINDT
C. J.
HOPPLE
G. B.
: US Patent 5,872,424 (filed 1997).
207.
JUNG
S. Y.
JUNG
J. E.
CHA
S. N.
PARK
N. S.
HAN
I. T.
LEE
N. S.
KIM
J. M.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 2000 , 18 , 905 –910 .
208.
TAMAI
K.
ISHIMARU
N.
HIRAI
Y.
KAMIHORI
T.
: Proc. Asia Display , 1998 , 203 –206 .
209.
KWON
S. J.
HONG
K. J.
LEE
J. D.
OH
C. W.
YOO
J. S.
KWON
Y. B.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 2000 , 18 , 1227 –1231 .
210.
FAHLEN
T. S.
DUBOC
R. M.
LOVOI
P. A.
: US Patent 5,667,418 (filed 1995).
211.
HONG
J. P.
SEO
D. S.
KIM
C. O.
SONG
B. K.
CHAR
S. N.
LEE
N. S.
KIM
J. M.
CHEE
J. K.
: J. Electrochem. Soc . , 2001 , 148 , H45—H48 .
212.
LEE
D.-J.
LEE
N.-Y.
JUNG
S.-J.
KIM
K.-S.
LEE
Y.-H.
JANG
J.
Ju
B.-K.
: J. Electrochem. Soc . , 2000 , 147 , 2385 –2388 .
213.
JUNG
S. J.
OH
J. Y.
WOO
K. J.
KIM
K. S.
MOON
G. J.
KIM
M. S.
LEE
N. Y.
AHN
S.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 2000 , 18 , 884 –887 .
214.
HAN
J.-H.
KWAK
M.-G.
PARK
Y.-K.
LIM
S.-C.
LEE
I.-K.
CHO
K.-I.
YOO
H.-J.
: J. Vacuum Sci. Technol. B , 1998 , 16 , 1236 –1238 .
215.
CALOI
R. M.
CARRETTI
C.
: J. Vac. Sci. Technol. A , 1998 , 16 , 1991 –1997 .
216.
AMIOTTI
M.
TOMINETTI
S.
: Vacuum Solutions, July/Aug. 1999, 25 -28.
217.
CHO
Y. R.
KIM
H. S.
MUN
J. D.
OH
J. Y.
JEONG
H. S.
AHN
S.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1998 , 16 , 3069 –3072 .
218.
CHO
S. T.
MASLENNIKOV
I. L.
CURTIN
C. J.
CONTE
A. S.
: US Patent 5,977,706 (filed 1996).
219.
MOUGIN
S.
CATANIA
P.
HAMON
O.
: US Patent 5,907,215 (filed 1996).
220.
CHALAMALA
B. R.
REUSS
R. H.
: Appl. Phys. Lett . , 2001 , 78 , 2967 –2969 .
221.
HOPPLE
G.
CURTIN
C.
: Inf. Display, 2000, 4-5, 34 -37.
222.
WEI
Y.
CHALAMALA
B. R.
SMITH
B. G.
PENN
C. W.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 1999 , 17 , 233 –236 .
223.
THEUSEN
L. H.
TOLT
Z. L.
FINK
R. L.
YANIV
Z.
MARRESE
C. M.
BANDY
S.
NISHIMOTO
C.
: J. Vac. Sci. Technol. B , 2000 , 18 , 968 –971 .